【MEMS 2013続報】ウエハーから任意チップを剥離し別ウエハーへ移植
2013.02.05
支持用のガラス基板に仮貼り合わせしたウエハーから任意のチップを別ウエハーに移植する(東北大学とレーザー技術総合研究所のデータ)。
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