【MEMS 2013続報】ウエハーから任意チップを剥離し別ウエハーへ移植

SAW共振器で移植技術を実証した（東北大学とレーザー技術総合研究所のデータ）。
SAW共振器で移植技術を実証した（東北大学とレーザー技術総合研究所のデータ）。

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