マイクロデバイス用語
目次
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発光効率
ハッコウコウリツ
白色LED の「発光効率」が冷陰極管(CCFL)を上回るようになり,輝度や消費電力を犠牲にすることなく,液晶パネルのバックライトに使える可能性が出てきた。すでにLED各社は,2008~2010年に100lm/Wを達成するロードマップを描き始めており,40型級大型液晶テレビの低消費電力化の道筋が見えて…
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第2次SNCC
ダイニジエスエヌシーシー
「第2次SNCC(Semiconductor New Century Committee)」は,2010年に向けた日本の新しいLSI研究開発プロジェクトの骨子を提言した委員会である。
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ナノインプリント
ナノインプリント
従来の露光装置を使わずに,原版を基板に押し当てることで微細加工を実現する技術を「ナノインプリント」と呼ぶ。この技術を,LSIの量産に使おうとする動きが出てきた。これまでは光学部品の加工などに使われており,LSIに応用することは難しいと考えられていた。ここへ来て,米Motorola, Inc.や大手メ…
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ESL
イーエスエル
1チップに複数のプロセサ・コアを集積するマルチプロセサ・コアSoC(system on a chip)に関心が集まっている。ESL(electronic system level)は,マルチコア化で煩雑になる,ハードウェア/ソフトウェア処理の切り分けを効率化すると期待されている。
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フルHD
フルエッチディー
“フルHD”が,大画面テレビ向けフラットパネル・ディスプレイ(FPD)の必要条件として急浮上してきた。フルHDパネルとは,フルスペックのHDTV(high definition television)信号を間引くことなくプログレッシブ表示できる1920×1080画素のパネルを指す。垂直方向の画素数が…
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FUSIゲート
フーシーゲート
45nmノード(hp65)から必要になるメタル・ゲートの第1候補として急浮上したゲート構造。FUSIはfully silicidedの略。
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高屈折率液体
コウクッセツリツエキタイ
高屈折率液体とは,屈折率が純水(1.44)よりも高い液体を指す。通常,液浸露光ではレンズとウエーハの間に純水を入れて解像度や焦点深度を改善させるが,高屈折率液体を使えば,さらに改善できる。
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インクジェット技術
インクジェットギジュツ
インクジェット技術がプリンタ以外の用途に広がり始めている。回路基板の配線,液晶パネルのカラー・フィルタ,有機EL素子,面発光レーザー用マイクロレンズ,有機TFT素子などの製造工程である。
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MEMSディスプレイ
メムスディスプレイ
MEMS(microelectro mechanical systems)技術を使ったディスプレイが,続々と実用化に向かい始めた。「MEMSディスプレイ」というと,米Texas Instruments Inc.が量産している「DLP(Digital LightProcessing)」の搭載品がよく知…
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SED
エスイーディー
キヤノンと東芝が,共同で開発を進めたディスプレイで「SED(Surface conduction Electron emitter Display)」。2004年9月14日,両社はパネルの開発,生産,販売を目的とした合弁会社を10月に設立すると発表した。
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ポスト・パッシベーション・プロセス
ポストパッシベーションプロセス
「ポスト・パッシベーション・プロセス(PPP)」がLSIに付加価値を与える第3のプロセスとして注目を集めている。LSIの歴史が始まって以来,製造プロセスはSiウエーハに回路を形成するウエーハ・プロセスと,ウエーハを切断し,外部端子を形成して樹脂封止するパッケージング・プロセスの大きく二つだった。第3…
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フェルミ・レベル・ピニング
フェルミレベルピニング
「フェルミ・レベル・ピニング」が話題になっている。リーク電流を抑えながらトランジスタ性能を上げるには,プロセスの微細化とともにゲート絶縁膜を高誘電率(high-k)膜に置き換えることが有効である。このhigh-k膜で有力な候補となっているのがHfO2やHfSiON といったHf(ハフニウム)系酸化物…
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ウオータ・マーク
ウオータマーク
ウェット処理工程において,乾燥させたウエーハ表面に残る水滴の跡。
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ビア
ビア
ビア(Via)は,多層配線において,下層の配線と上層の配線を電気的につなぐ接続領域。
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テープ・アウト
テープアウト
LSI設計において,設計が完了したことを示す用語。
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TEG
テグ
LSIに発生する設計上や製造上の問題を見つけ出すための評価用素子。
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Spiceパラメータ
スパイスパラメータ
MOSトランジスタなどのデバイスの特性を表現するモデルに与えるパラメータ。
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SEM
セム
走査型電子顕微鏡。電子ビーム(EB)を観察個所に照射し,観察個所から発生した2次電子を計測する電子顕微鏡。
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レビューSEM
レビューセム
ウエーハ上の欠陥の観察や分類を行う用途に専用化した走査型電子顕微鏡(scanning electron microscope:SEM)。
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ウエーハ裏面研削
ウエーハリメンケンサク
ウエーハを裏面から削って薄くすること。