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東北大、サービスロボット用集積化触覚センサー開発

MEMS技術ベースのヘテロ集積化技術で力センサーと制御回路を一体化

  • 三宅 常之
  • 2017/03/13 13:55
  • 1/3ページ

 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)は、「先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム」の協働企業と共同で、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術による3軸力センサーと、多数のセンサーを制御できる専用LSI「センサプラットフォームLSI」とをワンチップ化した集積化触覚センサーを開発した(関連記事「トヨタと東北大が新技術、ロボットセンサーとICを安く積層」)。

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)が開発したサービスロボット向け集積化触覚センサー
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 今回、開発した技術は、家事支援や介護など日常生活を支えるサービスロボットへの実装、工場の生産・物流ラインの省人化・効率化にも応用でき、新規産業の開拓につながると同大学は期待している。この技術を使ったロボット用センサーシステムについては、2017年3月13日に東北大学で開催の「マイクロシステム融合研究開発センターシンポジウム」で、技術講演とデモ展示がある。

 一般に人と協調して作業をする人間型ロボットの力加減を迅速かつ適切に調節するためには、ロボットの手や腕に多数の触覚センサーを配置する必要がある。これまでは高精度な多軸力の検出、高速なセンシング、省配線、小型化、高密度実装をすべて同時に達成することができず、触覚センサーの利用が限定されていた。

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