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日経エレクトロニクス 2017年8月号

Hot News

東芝が新型の水素センサー、消費電力を1/100以下に

ヒーター不要のMEMSで実現

  • 松元 則雄
  • 2017/07/19 00:00
  • 1/1ページ

出典:日経エレクトロニクス、2017年8月号、p.23(記事は執筆時の情報に基づいており、現在では異なる場合があります)

東芝は、従来の1/100以下の消費電力で動作する水素センサーを開発した。水素を吸収すると膨張する材料をセンサー膜として使い、膜の膨張で可動電極と固定電極間の距離が変わる機構をMEMSで作った。電極間の距離によって変化する静電容量を計測して水素を検知する(図1)。
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