パナソニックは、低コストを売りにした高速プラズマアニール装置を「セミコン・ジャパン2015」（2015年12月16～18日）で参考出展した。同社の試算によれば、ウエハー1枚当たりの設備償却費を、既存のフラッシュランプ・アニール装置やレーザーアニール装置の約1/12、IRランプ・アニール装置に比べて1/4程度に低減できるという。今後2～3年以内の商品化を目指す。
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