lithography aware tool

　半導体製造における露光（リソグラフィー，lithography）工程で発生する問題を，設計段階で考慮し設計するためのツールの総称。例えば「リソグラフィー・アウェアー・アナリシス・ツール（lithography aware analysis tool）」「リソグラフィー・アウェアー・プリベンション・ツール（lithography aware prevention tool）」などがある。