LSI生産の高効率化を目指した「EES（equipment engineering system）」と呼ぶ技術を量産現場に導入する動きが本格的に始まった（図1）。EESとは，LSI製造装置が正常に機能しているかどうかをデータでチェックし，装置の信頼性や生産性を向上させるシステムを指す。2005年にはルネサステクノロジやソニーが相次ぎ採用を決めた。今後LSI業界全体に広がる可能性が高い。
装置メーカーの役割を見直す
ここへ来てEES が必要になってきた背景には，SoC（system on a chip）のように多品種少量，短TAT（turn-around time）の製品が増えてきたことが挙げられる。SoCはDRAMやマイクロプロセサのような作りだめが難しく，生産途中で装置が故障した場合のリスクが大きい。このため，EESによる装置の信頼性向上が求められている。これまでもIT（情報技術）を駆使して装置の状態を監視する試みはあったが，今回のEESは二つの点で異なる。
第1に，装置の基本機能をデータとして取得する点である。これまでは，基板温度やガス流量，チャンバ内の圧力といったプロセス条件を監視していた。しかし，この情報だけでは何が原因で問題が起きているのか分からず，対応に時間がかかってしまう。そこで，EESでは例えばヒーターに投入する電力を監視して，ヒーターそのものが正しく機能しているかをチェックする。根本的な原因を調べるので迅速な対応が可能になる。
第2に，EESではLSIメーカーと装置メーカーの役割分担を見直そうとしている点が従来と異なる。これまでは装置から取得したデータを解析して問題を解決するのは主にLSIメーカーの仕事だった。今回のEESでは，主に装置メーカーがデータを活用する。取得すべきデータを装置メーカーが自ら提案し，そのデータを活用しながら装置の信頼性を高めていく。一方，LSIメーカーはプロセス性能の改善に集中できる。
図1●LSIメーカーと装置メーカーの関係を見直す 装置メーカーはEESのデータに基づいて基本機能を検定することによって，ユーザー先でのトラブルを未然に防げるほか，そのノウハウを次の装置開発に生かすことができる。ルネサステクノロジが「SEMI Technology Symposium 2005」で発表したデータを基に本誌が作成。
