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ニコンが半導体露光装置のアップグレード事業を強化、パワー半導体や3次元LSI市場を狙う

木村 雅秀=日経BP半導体リサーチ
2013/11/12 10:00
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ニコンテック 取締役社長の石井勇樹氏
ニコンテック 取締役社長の石井勇樹氏
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 ニコンは販売済みの半導体露光装置を用途に応じてアップグレードするサービス事業を強化する。同社子会社で露光装置のアフターセールス事業を展開するニコンテックに専属組織「アフターセールス戦略室」を2013年春に設立した。この11月にはニコンの台湾子会社であるNikon Precision Taiwan(NPT)社に露光装置アップグレード用の製造施設「Refurbishment Center」を開設する。

 顧客が既に保有している装置を用途に応じてアップグレードすることで、新規に露光装置を購入する場合に比べて「顧客のコスト負担を数分の一に抑えられる」(ニコンテック 取締役社長の石井勇樹氏)という。

 例えば、Si-LSIの製造に使っていたi線露光装置をアップグレードすることで、化合物半導体系のパワー・デバイスの製造などに転用できるという。化合物半導体を用いたパワー・デバイスの製造では、ウエハーを透過して位置合わせマークを検出する赤外光方式のアライメント・システムなどが必要になるため、こうした機能を追加する。

 今後、需要が見込めるTSV(Si貫通ビア)を用いた3次元LSIに対しても、投影レンズの開口数(NA)を低減して焦点深度(DOF:depth of focus)を改善するなどの改造を行う。このほか、オートフォーカス機能の改善やスループットの向上、MEMS向けの裏面アライメント機能の追加といったアップグレードにも対応する。

 アップグレードの対象になる露光装置は、アジア(日本、台湾、中国、韓国、シンガポール)の顧客に納入したニコン製のi線露光装置(約1990台)とKrF露光装置(約650台)の計約2640台。主に200mmウエハー対応装置であり、一部150mmや300mm対応の装置も含まれるという。なお、KrF露光装置に関しては、汚れたレンズの交換や磨き直しなどを行う。

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