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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > アドバンテストの1Xnmノードに対応したEB露光装置、東大、京大などから計3台を受注

アドバンテストの1Xnmノードに対応したEB露光装置、東大、京大などから計3台を受注

  • 小島 郁太郎=Tech-On!編集
  • 2013/10/22 21:09
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アドバンテストは、EB露光装置「F7000シリーズ」3台を受注したと発表した。発注したのは、東京大学、京都大学、および半導体関連企業の計3機関である。

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