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【ナノテク展】日立化成、太陽電池などに向けてSiNのエッチングが可能なペースト材料を開発

  • 河合 基伸=日経エレクトロニクス
  • 2013/01/30 18:38
  • 1/1ページ
 日立化成は、SiNのエッチングが可能なペースト材料を開発し、展示会「第12回 国際ナノテクノロジー総合展」(東京ビッグサイト)に出展した。開発したペースト材料をスクリーン印刷で形成すれば、ペースト材料直下のSiNのみを除去できるようになる。太陽電池やMEMSの製造工程などへの適用を目指す。

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