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【セミコン2012】無電源かつワイヤレスのウエハー温度計測システムを大日本スクリーングループのSEBACSが出展

大石 基之=日経ものづくり
2012/12/06 19:46
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 大日本スクリーングループのSEBACSは、半導体ウエハー上の任意の場所の温度を無電源かつワイヤレスで計測できるシステムを、2012年12月5~7日に千葉県・幕張メッセで開催中の半導体製造関連の展示会「セミコン・ジャパン 2012」で出展した。「ウエハー温度計で、無電源かつワイヤレスで測定できるものは世界で初めて」(SEBACS)という。

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