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【セミコン2012】大日本スクリーン、薄型ウエハーに対応する枚葉式洗浄装置を発売

  • 赤坂 麻実=Tech-On!
  • 2012/11/29 17:07
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 大日本スクリーン製造は、裏面照射型CMOSイメージ・センサやMEMSデバイス、パワー半導体などの製造に使う薄型Siウエハー対応の枚葉式洗浄装置「SU-2000」を2012年12月5日に発売する。

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