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【セミコン2012】浜松ホトニクス、重水素ランプの真空紫外線を利用した静電気除去ユニット

  • 赤坂 麻実=Tech-On!
  • 2012/11/29 15:35
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 浜松ホトニクスは、MgF2窓付の重水素ランプを内蔵する静電気除去ユニット「L12542」を開発した。半導体製造工程で、Siウエハーを搬送する静電チャックからウエハーを分離するときに使う。

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