東芝電力検査サービス（本社横浜市）は、焦点位置を制御でき感度を高めた3次元超音波装置「Matrixeye EX＋」を開発し、「ものづくりNEXT↑2012」（2012年11月14～16日開催、東京ビッグサイト）に出品した（図）。3次元超音波装置とは、プローブに埋め込んだ複数個の圧電素子を利用して、検査対象物に超音波を送り、その反射波を検出することで剥離や空隙、接合不良部などの欠陥を見つけるシステムである。Matrixeye EX＋では、同社従来品で採用していた3次元開口合成法（3D-SAFT）に加えて、フェーズドアレイ法を採用して、超音波を照射する際の焦点位置の制御や、超音波が減衰しやすい素材〔ニッケル成分の多いステンレス鋼（SUS）など〕の検査を可能とした。超音波の焦点を絞ることで、検査したい部位を的確に検査できるようになる。
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