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【セミコン・プレビュー】AMATがBSI型CMOSセンサ向けCVD装置やレビューSEMを発表

長廣 恭明=Tech-On!
2011/12/06 20:46
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米Applied Materials, Inc.(AMAT)は、「Semicon Japan 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)に合わせて2011年12月6日に記者会見を開催、CVD装置「Applied Producer Optiva」とレビューSEM(走査型電子顕微鏡)「Applied SEMVision G5」を発表するとともに、既に発表済みの表面改質処理装置「Applied Producer Onyx」の詳細(Tech-On!関連記事)や、今後の技術トレンドに関する同社の見方を説明した。

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