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【セミコン・プレビュー】省/創エネ・デバイス向け検査装置、レーザーテックが3装置を製品化

長廣 恭明=Tech-On!
2011/11/22 14:38
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近年、省エネルギーや創エネルギーへの関心が高まっており、このために窒化ガリウム(GaN)デバイスや炭化シリコン(SiC)デバイス、太陽電池に対する技術開発の加速や量産化、性能向上などに向けた取り組みが急激に進んでいる。これに向けた検査装置3機種を、レーザーテックが製品化した。GaNなどの透明ウエハー向け欠陥検査装置「WASAVIシリーズTROIS33」、SiCウエハー向け欠陥検査装置「WASAVIシリーズSICA6X」、太陽電池向け分光感度分布測定装置「MAPシリーズ SR-MAP」である。前者2装置は「Semicon Japan 2011」に、後者1装置は「PV Japan2011」(いずれも2011年12月7~9日、幕張メッセ)に出展する予定。いずれも2011年12月に受注を開始する。

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