三菱重工業は、同社の小型精密加工機「μV1」を用いて、半導体のウエハなどに使われる非常に硬い材料4種類の微細加工に成功したと発表した(ニュースリリース)。加工に成功した材料は炭化ケイ素(SiC)、サファイア、グラッシーカーボン、石英ガラス。半導体の試作時に、フォトリソグラフィーやエッチングの工程を代替することで、リードタイムを5~10倍に向上できる可能性があるほか、医療機器や検査機器向けにガラスに微細な液体の流路を形成する用途などに使えることを実証した。同社はこれらの分野にμV1を売り込んでいく考え。
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