4本のアームを使って,Siウエーハを自由自在に次々と運ぶ。このような同心6軸型の搬送装置を,アルバックが「セミコン・ジャパン2008」(12月3日~5日,幕張メッセ)で参考出展した。一般公開されたのは今回が初めてであり,実機を一目見ようとする来場者が次々に訪れ,説明員に熱心に質問する姿が目立った。
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