ニコンは，液浸ArF露光装置の生産能力を拡大する（発表資料）。熊谷製作所（埼玉県熊谷市）と栃木ニコンプレシジョン（栃木県大田原市）に生産ラインを1棟ずつ増設し，生産能力を現在の年間40台から90台まで引き上げる。稼働開始は2009年12月の予定。投資額は建物と生産設備を合わせて2008～2010年度の3年間で約350億円を見込む。

　液浸ArF露光装置はこれまでNANDフラッシュ・メモリ製造に採用されるケースが多かったが，今後はロジックICやDRAM向けにも採用が進んでいくとみられる。ニコンは，ロジックICまたはDRAM分野の半導体メーカーから，液浸ArF露光装置を中心とした大口の引き合いがあったため，今回の生産体制増強を決めたという。同社は液浸ArF露光装置を2008年6月までの累計で26台販売してきた。2008年度は25台の販売を見込んでいる。