半導体メーカーによるSi貫通電極の採用と,200mmウエーハ対応のMEMS工場の立ち上がりに伴い,MEMS製造装置メーカー間の競合が激化してきた。このうち,Si深掘りエッチング装置では,米Aviza Technology, Inc.が攻勢を強め,2007年の市場シェアでトップに立ったもようである。さらに,同社は今回,貫通電極の形成プロセスを1台に統合した装置を発表した。

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