アルバックは,第8.5世代から第10世代と呼ばれるガラス基板に対応できるインライン・スパッタリング装置「SDP-2600VTX」「SDP-3000VTX」を開発,受注を開始した。2枚を同時に搬送して成膜するなど,新しいコンセプトを採用し,生産性の向上と品質の向上を両立させた。
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