半導体デバイス製造技術の情報をトータルに報道していくテーマサイト「Silicon Online」で2006年に注目を浴びたのは,微細化のこれからを支える技術と,フラッシュ・メモリや太陽電池といった,いま急速に伸びているデバイスに関連する記事だった。
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微細化の今後では,液浸露光装置の量産プロセスへの採用に向けた動きや,45nmに向けた具体的な動向などが話題になっていた。さらに2006年には半導体業界の世界的な再編劇がいくつか起こり,半導体業界のこれからを見据えたような記事も読者の興味を引いたようだ。
技術の記事で特筆すべき人気を集めたのは,今回2位に入った沖電気工業の「EFB(Epi Film Bonding)」という技術についての記事である。例えば化合物半導体などのエピタキシャル成長層をはく離し,Siウエーハ上に張り付けることによってLSIと一体化できる。「これまでの概念を変える非常に面白い技術」(半導体に詳しい大学教授)など,高い評価がされており,沖電気が今後,どのように事業展開を進めていくのか,周囲が注目している。