東北大学は，EB（電子ビーム）露光装置に向けたアレイ状の電子銃を開発した（論文番号：95-NDNT-A0269）。MEMS技術によって，電子銃と集束用レンズを一体化すると共に，これらをアレイ状に多数配列している。一体化によって電子放出部分の構造を小型にでき，アレイ化によって露光時のスループットを高められる。線幅が数nmといった将来の半導体露光装置向けの実用化を同大学は目指している。
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