直径1.2mと小型の加速器を使ってX線放射を可能にする素子を,京都大学がMEMS技術により開発した(論文番号:95-OMN-A0593,図1)。MEMSによる多層Al薄膜に,加速した電子を通過させ,その際に放出される光子を共鳴させて高エネルギー化しX線として出力する。このX線は比較的波長の長い「ソフトX線」であり,X線露光装置などに利用できる。
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