MEMS技術によって実現するSiマイクの最大手が，7月6日から開催の「MEMSソリューション 2006」で講演する。Siマイクは，既存のECM（electret condenser microphone）に比べて低コストに実装できるという特徴がある。このため携帯電話機などへの採用が相次ぐ見込みである。

　今回講演するのは，Siマイク最大手で補聴器メーカーでもある米Knowles Acoustic社で，当初からSiマイクの開発に携わり，現在でも開発を指揮しているPeter V. Loeppert氏（Vice President of Engineering）である。

　Siマイクが狙うのは，携帯電話機，デジタル・カメラ，携帯型音楽プレーヤなどの民生機器である。これらの総出荷台数は，2005年に10億台を超えた。現在のところ，このほとんどは，ECM（electret condenser microphone）を搭載している。ECMは，高温に弱いためリフロー・ハンダ付け工程には使えない。そのため，ECMは製造の最終段階に人手で実装されることが多い。

　これに対してMEMSマイク（Siマイク）は，Pbフリー・ハンダによる実装工程における高温プロセスに耐えられ，標準的なピック・アンド・プレース装置の利用が理想的である。これまでMEMSマイクを安定的かつ低コスト化するための開発が続けられてきた。特にコストは民生機器の市場において重要である。コストはSi面積で決まる。Siの面積を小さくする構造には，われわれが特許を持つ技術を採用しており，「free-plate diaphragm」と呼ぶSi薄膜を使う。組み立てコストは，自動組み立て工程により最適化している。今回の講演で同氏は，MEMSマイクにおけるMEMS部の設計，パッケージ，テストについて紹介する。