2014年1月9日14時過ぎ、三菱マテリアル四日市工場（三重県四日市市）の多結晶シリコン（Si）の
製造施設で爆発火災事故が発生した。
同施設の水冷熱交換器が、洗浄作業中に突然爆発したのだ。
チャンネルカバーと呼ぶ蓋が吹き飛び5人が死亡、13人が重軽傷を負うという惨事となった。

図2●水冷熱交換器の概要
長さ約5990mm、直径約900mmの円筒形で、内部には長さ4mほどの伝熱管が293本通っている。伝熱管内部にガスを、その周囲に冷却水を流してガスを冷やす。
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　四日市工場は、同社電子材料事業カンパニーの製造拠点の1つで、半導体Siウエハーの原料として多結晶Siを製造している。爆発があったのは、同工場第一プラントにある高純度多結晶Siの製造工程の第6水素生成設備にある水冷熱交換器。作業員らが同交換器を解体・洗浄していた際の事故だった。

　水冷熱交換器は、直径900mm、長さ約6mのステンレス鋼製の円筒の中に、外径34mm、長さ4mの293本のチューブ（伝熱管）を通した構造をしている（図2）。円筒の両端には質量200kgほどのドーム状のチャンネルカバーが付いており、この片側を外したところ、突然爆発し火災が起こった。事故調査の中間報告によると、隣接する建屋だけでなく発生場所から20～30m離れた建物の窓ガラスが爆風で破損しており、その威力は、トリニトロトルエン（TNT）に換算して最大7kgに相当すると推定された1）。