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検査・解析技術総覧

 LSIの性能向上に向けて,検査・解析技術の重要性が高まっている。ひずみSiや低誘電率(low-k)膜,高誘電率(high-k)膜,メタル・ゲートといった新たな材料や構造が本格的に導入されるためである。さらに,プロセスの要であるリソグラフィ技術も液浸露光へと変化する。65~45nmで新たに必要となる検査・解析技術とはどのようなものか。連載で明らかにする。

Contents

【技術者塾】
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日時:2016年8月30日(火)10:00~17:00
会場:エッサム神田ホール(東京・神田)
主催:日経エレクトロニクス

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