SOIウエハーとガラス基板を貼り合わせて真空を維持

　ベルギーIMECとオランダHolst Centreは、振動のエネルギーから高い変換効率で電力を得る振動発電素子を開発した。MEMS技術を用いて、150mmのSOIウエハー上に作製した。素子寸法が3mm×3mm×1.7mm、振動周波数が1011Hzの場合に最大489μWの電力を出力するという。

　一般に振動発電素子の出力は、その素子面積におおむね比例する。3mm角の寸法で489μWという出力電力は、ほぼ同じ周波数を用いる従来の標準的な振動発電素子の約50倍、米University of Michiganの研究チームが最近発表したチャンピオン・データの約13倍の出力密度に相当する。

『日経エレクトロニクス』2012年1月9日号より一部掲載

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