インジウム（In），ガリウム（Ga），亜鉛（Zn），酸素（O）から成るアモルファス酸化物半導体は，フルHDを超える高解像度の大画面テレビ向けTFTに適用できる可能性がある技術として注目を集めている。アモルファスSi TFTより高いキャリア移動度と低温多結晶Si TFTより小さい特性バラつきを示すためである。加えて，比較的低温のプロセスで作製でき，かつ可視光に透明などの性質を備えるため，新しい用途の開拓に利用できそうだ。今回は，有機ELテレビなどへの応用を積極的に検討しているSamsungグループの研究成果を紹介する。（野澤 哲生＝本誌）

Jang Yeon Kwon氏
韓国Samsung Advanced Institute of Technology （SAIT）

Display Device ＆Processing Laboratory
R＆D Staff Member


　この論文は，本誌が2008年3月3日に開催したセミナー「進展する大面積エレクトロニクス─有機や無機，印刷などを駆使したシート状デバイスの実力を探る─」における，Kwon氏の講演「Oxide TFT for Active Matrix Display」の内容を基に編集した。