マイクや圧力センサ，アクチュエータなどさまざまなMEMSデバイスが開発されている。需要は旺盛だが，普及の足かせとなっているのが製造コストの高さ。しかし，製造工程における機械的な検査を電気的な検査で代替することで，歩留まりの改善とコスト低減が期待できる。本稿ではその基本的な考え方と検査方法を解説してもらう。（吉田 勝＝本誌）

中村 光宏
アジレント・テクノロジー・インターナショナル 電子部品計測事業部 マーケティング部

　MEMS市場は，近年順調に成長している。現在の年間成長率は約14％で，2010年までには約100億米ドルの市場になるとの予測もある。順調な市場の伸びと技術の成熟を背景に新規参入するプレーヤーも増加しており，MEMSビジネスは活況を呈している。