ルネサス テクノロジと浜松ホトニクスは,共同でLSIの故障解析を効率化するシステム「FA-Navigation System」を開発した。このシステムでは,LSIの故障に起因する発光をとらえる発光解析といった,物理的な故障解析手法と,故障診断ソフトウェアによる解析手法とを組み合わせる。あるチップの例では,40数%程度だった故障の発見率が,今回のシステムの適用で70%弱まで向上した。ルネサスは実際にこのシステムをLSIの故障解析に適用し,最近では,電子ビームを利用するEBAC(Electron Beam Absorbed Current)解析と今回のシステムを組み合わせて,さらなる効率化を図っている。
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