半導体関係の特許の中でTFT関係の出願の伸びが大きくなっている。特に,透明酸化物アモルファス半導体がTFTと連動した動向を示している。この領域は2004年,東京工業大学教授の細野秀雄氏らが,当時,多結晶膜で0.3~1.0cm2・V-1・s-1だった酸化物半導体TFTのチャネル移動度を,プラスチック基板上に作成した透明なアモルファス薄膜で一気に10cm2・V-1・s-1に引き上げたことで注目されている分野である。大面積化に有利なアモルファスにすると結晶から移動度が数ケタも低下してしまうことは半導体の常識であったが,これを打ち破ったのである。室温で作成でき,しかも均質でケタ違いの性能改善を実現した研究成果は画期的な発明であり,有識者からも高い評価を受けている。

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