日経ものづくり 詳報

小さく，深く──穴開け加工の最前線
工具や装置，使いこなしが進化

　直径3μmの微小穴，直径の100 倍という深い穴─より小さ く，よりアスペクト比（加工深さ/加工 径＝L/D）の高い穴開けを可能とす る技術の開発が進んでいる（図）。ド リルによる切削加工だけでなく，ブラ スト加工やレーザ加工などでも，そう した取り組みが見られる。同技術の 進化の背後には，工具や装置の改良 に加えて，使いこなしの工夫がある。

「L/D=100」を切削で実現
　切削加工の分野で深さを追求した のが，日立ツールの深穴加工用ドリル 「エポックマイクロステップボーラー」だ 。直径50μm～1mmに対 して，L/Dが最大100の深穴を加工で きる〔図、（a）〕。
　従来はL/Dが20～30程度の深穴で も切削で加工するのは難しいとされて いた。L/Dが大きな貫通穴を開ける場 合，例えば放電加工によってワークの 表裏から穴を開けて貫通させるという 方法がある。しかし，表裏の穴の中心 位置のずれから穴の内部に段差がで き，穴の内面も粗くなってしまうので， ワイヤ放電加工による仕上げが必要 になる。このため，加工時間も長くなる。（以下，「日経ものづくり」2007年10月号に掲載）


図●より微細な穴や 高アスペクト比の穴を加工した例
（a）はSUS304に加工した直径0.5mm，深さ 50mm（L/Dが100）の穴。上面に見える溝は穴の断 面。（b）は，A5052に5μmピッチで開けた直径3μmの25 個の穴。被削材の厚さは12μm。（c）は，太さ0.5mmのシャープ ペンシルの芯に開けた直径30μmの穴。一部の穴にはワイヤを通し ている。（d）は，A5052に開けた真円度の高い直径10μmの穴。真円度は， 0.5μm以下という。

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