【MEMS 2013】携帯電話機向けセンサの発表に見る中国と日本の技術力

特殊なプロセスを使わない圧力センサの断面（写真：State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information)
特殊なプロセスを使わない圧力センサの断面（写真：State Key Lab of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information)

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