半導体製造装置メーカーにとって、微細化の終焉は成長の終わりを示唆するものである。これは、液晶製造装置業界の歴史を見ると分かりやすい。液晶製造装置市場は従来、「技術革新の要素に乏しいので、1990年末には飽和する」といわれていた。ところが実際は2000年代に入っても大きな成長を続けた。
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