【電子産業史】1979年：超エル・エス・アイ技術研究組合

図2　可変寸法矩形ビーム方式による電子ビーム描画装置　1977年5月に発表された。
図2　可変寸法矩形ビーム方式による電子ビーム描画装置　1977年5月に発表された。

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