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ニュース

キヤノン、300mmウエハー露光装置を200mm対応に

  • 小島 郁太郎
  • 2017/12/11 20:01
  • 1/1ページ
キヤノンは、既存の300mmウエハー向けi線半導体露光装置とKrF半導体露光装置を200mmウエハーに対応させる「200mmオプション」を2017年12月11日に発売した。IoTや車載半導体デバイスに向ける。

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