昭和電工は、液晶・半導体の洗浄剤として使う高純度溶剤「ソルファイン」シリーズの新グレードを開発し、徳山事業所(山口県周南市)に精製設備を新設する。新グレードの純度は、従来グレードの99.50wt%以上に対して99.95wt%以上。同社は新グレードを、主に半導体フォトレジスト用の溶媒として供給する。

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