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住友電工がSiCエピ基板を量産、4~6インチ

  • 根津 禎
  • 2017/09/14 22:35
 住友電気工業(以下、住友電工)は、SiCウエハー(基板)上にエピタキシャル層を積層したエピタキシャル(エピ)基板の量産を始めた。