半導体インターコネクト(配線)技術に関する国際会議「IEEE International Interconnect Technology Conference(IITC) 2016」(IEEE Electron Device Society主催)が、2016年5月23~26日に米国サンノゼで開催される(同会議のホームページ)。今回で18回目の開催となり、IITC 2014に続いて2度目の「Advanced Metallization Conference(AMC)」との共同開催である。

 IITC/AMCはデバイス(素子)だけでなく、回路・システムレベルの応用を含む幅広い配線技術を対象とする。配線分野としては参加国、参加者、論文数いずれも世界最大規模の国際会議である。今回も例年通り200人以上の参加を見込んでいる(2015年の参加者数は220名)。発表件数は、口頭発表が45件(基調講演含む)、ポスター発表が33件である。

 発表分野は、Cu/low-kプロセスインテグレーションや要素技術、信頼性、分析技術、3D、新材料・プロセス・コンセプト(カーボンナノチューブ、グラフェン、スピン)など多岐にわたる。主な講演機関は、産業界からは米IBM社や米Intel社、米GLOBALFOUNDRIES社、台湾TSMCなど、研究機関・大学からはベルギーIMEC、米G450C(Global 450 Consortium)などである。

 本会議に先立つ5月23日にはワークショップが開催される。「配線技術の課題とそれを解決する技術候補」を題目に6名の専門家が講演を行う。Cu配線の代替技術や新規輸送方式、脳型コンピュータ等について各講演者が1時間にわたり最新の研究結果を報告する。