冷却ファンによる温度変化に対して高い安定性を確認した。開発したMEMS発振器は評価ボードに搭載している。
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米SiTime社は、水晶発振器のうち周波数安定性が最も高いOCXO（Oven Controlled Xtal Oscillator）を置き換えられるMEMS（微小電子機械システム）発振器を開発、2017年前半に製品化する。携帯電話基地局や通信基幹網の基準クロック源として使える。MEMS発振器は、安価などの利点がある一方、安定性では水晶発振器に対して劣っていた。SiTime社は、MEMS発振器の最大手で、2015年に同社を買収したメガチップスの子会社である。
開発したMEMS発振器の周波数安定性は、－40～＋105℃の動作温度範囲において±0.1ppmと、±数ppmのTCXO（Temperature Compensated Crystal Oscillator）より優れ、±1ppm未満のOCXOに匹敵する。温度変動や振動に対しても安定性が高いという（図1）。温度変化に対する安定性は、1分間に10℃の温度上昇時に±0.001～0.005ppmと水晶発振器よりも優れる。衝撃に対する安定性は、0.0001ppm/gである。
図1 温度変化や振動に強い
開発したMEMS発振器と既存の水晶発振器の周波数などの安定性を確認した。（a）は50℃の温度変化を与えた結果。（b）は15～2kHzで7.5grmsの振動を与えた結果。（図：SiTime社）
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時間的にランダムなばらつきを示すAllan分散は、10秒間で3×10－11と、TCXOよりも10倍安定している。PSNR（電源雑音除去比）は0.2ps/mV。定電圧源のLDOレギュレーターは不要になるという。
発振周波数が1M～60MHzと、60M～220MHzの製品を用意する。
