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HOMEエレクトロニクス電子デバイスnano tech 2016 > R2Rで有機TFT回路を印刷、グラビアオフセットで微細加工

nano tech 2016

R2Rで有機TFT回路を印刷、グラビアオフセットで微細加工

鵜飼育弘のPrintable Electronics/nano tech展示会レポート(2)

  • 鵜飼 育弘=Ukai Display Device Institute 代表
  • 2016/02/16 15:13
  • 1/4ページ

1. はじめに

 「Printable Electronics 2016」と「nano tech 2016」の展示会からグリーンプロセス関係のトピックスを紹介するシリーズ。第2回は、東レエンジニアリングのロール・ツー・ロール(R2R)方式のインクジェット塗布装置と、SCREENホールディングスのグラビアオフセット印刷装置および印刷用平版を紹介する。

2. R2R方式のインクジェットパターン塗布装置

 東レエンジニアリングはプリンテッドエレクトロニクス用の塗布装置として、スリット塗布、インクジェット塗布、ストライプ塗布およびESC(Electro Spray Coating)塗布など、さまざまな装置を扱っている。ここでは、ロール・ツー・ロール方式のインクジェットパターン塗布装置を取り上げ、装置の特徴とTFTアレー作製への適用を紹介する。(1)インクジェット塗布の概要、(2)装置の特徴、(3)装置仕様、(4)山形大学におけるR2R微細印刷プロセス開発の順に、詳しく説明する。

(1)インクジェット塗布の概要を説明する。塗布材料は、水溶性インク、油性インク、溶剤系インク、顔料を含んだインク、銀(Ag)ナノインクなど機能性材料である。これらのインクをパターン塗布、ブロック塗布、高精細パターニング(微細配線)塗布することができる。それぞれの材料と塗布形状により、インクジェットヘッドを最適に配列する装置構成が可能である。

(2)装置の特徴は、以下の5つにまとめられる。
 ・低張力搬送および低温高速乾燥でフィルムダメージを最小化
 ・フィルム幅は900mmまで対応可能
 ・独自の画像処理および位置制御技術で、高い吐出位置精度(±5μm)を実現
 ・吐出用途・吐出量に応じたインクジェットヘッドの搭載可能
 ・独自のマスクレスUV露光ヘッドも同時搭載し、親水性/疎水性処理と塗布の連続処理が可能

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