半導体製造 プロセス技術や工場の動向を知るための
 
2009/04/17 00:00
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出典:MEMS テクノロジ 2007,pp.238-263 (記事は執筆時の情報に基づいており,現在では異なる場合があります)

MEMSの製造プロセスに関わる基礎用語について,東北大学 教授の江刺 正喜氏に解説してもらった。単なる用語の説明にとどまらず,歴史をひもといて解説したものである。

江刺 正喜(えさしまさよし)
東北大学 教授
1976年東北大学 大学院 工学研究科 博士課程(電子工学専攻)修了。同年より東北大学工学部助手。1981年助教授,1990年より教授。現在は,東北大学 原子分子材料科学 高等研究機構(WPI),兼大学院 工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教育センター(MNC)センター長。一貫して,半導体センサ,マイクロマシニングによる集積化システム,MEMSの研究に従事している。
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