出典：MEMS テクノロジ 2007，pp.238-263 （記事は執筆時の情報に基づいており，現在では異なる場合があります）

MEMSの製造プロセスに関わる基礎用語について，東北大学 教授の江刺 正喜氏に解説してもらった。単なる用語の説明にとどまらず，歴史をひもといて解説したものである。

江刺 正喜（えさしまさよし）
東北大学 教授
1976年東北大学 大学院 工学研究科 博士課程（電子工学専攻）修了。同年より東北大学工学部助手。1981年助教授，1990年より教授。現在は，東北大学 原子分子材料科学 高等研究機構(WPI)，兼大学院 工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教育センター（MNC）センター長。一貫して，半導体センサ，マイクロマシニングによる集積化システム，MEMSの研究に従事している。