DFM

 【図6 CMPの不具合で発生した配線ショートの例】n層の影響によりn+1層が凹み,n層の金属が研磨しきれずにショートが発生した。出典は米Cadence Design Systems, Inc.。
【図6 CMPの不具合で発生した配線ショートの例】n層の影響によりn+1層が凹み,n層の金属が研磨しきれずにショートが発生した。出典は米Cadence Design Systems, Inc.。

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