inter-die variation, die-to-die variation, global variation

 異なるチップ間でのばらつき。チップの水準(平均)の差。D2D(die-to-die variation)と略称で呼ばれることもある。

 チップ間ばらつきは,さらに次のように細かく分類できる。

  • ウエーハ内ばらつき
  • ウエーハ間ばらつき(W2W:wafer-to-wafer variation)
  • ロット間ばらつき(L2L:lot-to-lot variation)
  • 装置間ばらつき
  • fab間ばらつき