process variation

　製造時に生じるプロセスのばらつき，またはそれによるデバイス特性，遅延のばらつきを指す。

　例えば，OPC（光学近接効果）によるマスク・パターンと実際の形状のずれや，露光（リソグラフィー）時のフォーカシングのずれ，アライメントのずれ，拡散工程での拡散むら，エッチングむら，CMPの研磨むらなどによって発生する。

　遅延に影響を与えるプロセスばらつきには，ゲート長ばらつきや不純物注入ばらつき，配線形状のばらつきなどが考えられる。