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マイクロデバイス用語

枚葉式

マイヨウシキ

  • 2000/07/16 15:42
  • 1/1ページ

 製造装置において,ウエーハを1枚ずつ処理する方式。プロセス処理の高精度化やウエーハの大口径化に伴い,従来のバッチ式から枚葉式へ移行する工程が増えている。

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