mask error enhancement factor analysis

 MEEFとはマスク・エラー増大因子のこと。マスクのエラー(製造時に起こる誤差)が,ウエーハ上に形成されるパターンにおいて,より強調して出力される現象がある。MEEF解析は,これを調べる手法である。

MEEF解析の例