図:カバレッジ不良(ビアを上から見たところ)
図:カバレッジ不良(ビアを上から見たところ)
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coverage failure

 ホット・スポット(hot spot)のひとつ。配線と上下層の配線を接続するビア(Via)/コンタクトの間の接触面積が,露光(リソグラフィー,lithography)起因で小さくなる現象を指す。

カバレッジ不良(ビアを上から見たところ)